Pengeluaran EUV ASML telah meningkat daripada 22 unit pada 2019 kepada 42 unit pada 2021
Dec 09, 2022| Menurut The Elec, ASML baru-baru ini mengumumkan pada Persidangan Global Ekosistem EUV Semikonduktor 2022 bahawa bilangan peranti EUV yang dihasilkan oleh ASML telah meningkat daripada 22 pada 2019 kepada 42 pada 2021 dan dijangka melebihi 50 pada tahun ini. Pengeluaran akan meningkat lagi pada tahun hadapan. Versi awal peranti High-NA EUV akan tersedia menjelang akhir tahun depan, dengan model pengeluaran pada akhir 2024 atau awal 2025.
Dalam pengumuman pendapatan suku ketiganya pada 19 Oktober, ASML berkata: "Dalam perniagaan EUV High-NA, ASML telah menerima pesanan tambahan untuk TWINSCAN EXE:5200; Semua pelanggan EUV kini telah menyerahkan Perintah tinggi-NA." Peranti EUV High-NA ialah peranti yang meningkatkan apertur berangka (NA) kanta dengan keupayaan pengumpulan cahaya daripada 0.33 kepada 0.55. Memproses litar semikonduktor yang lebih halus daripada peranti EUV sedia ada. Kebanyakan dalam industri bersetuju bahawa peralatan High-NA adalah penting untuk proses 2nm.
